本发明涉及吸引保持器具和环状框架的保持机构。
背景技术：
贴带机将划片带粘贴于环状框架和晶片上而进行一体化，该贴带机具有：环状框架保持机构，其对内径比晶片的直径大的环状框架进行保持；晶片保持单元，其在环状框架的开口部分对晶片进行保持；以及粘贴单元，其将圆形的划片带粘贴于环状框架和晶片。
环状框架保持机构具有：吸盘，其对环状框架的下表面进行吸引保持；以及支承工作台，其对环状框架的下表面进行支承。
晶片保持单元具有保持工作台，该保持工作台具有对晶片的下表面进行吸引保持的保持面。
为了使晶片的中心与环状框架的开口的中心一致，环状框架保持机构如专利文献1所公开的那样使用定位单元等对在环状框架的外周对置而形成的平坦面进行夹持，从而将环状框架定位于目标位置。环状框架通过从吸盘喷出的空气而浮起并定位于规定的位置之后，被保持于吸盘上，从而利用支承工作台进行支承。
使用吸盘的原因在于：不会刮伤环状框架的下表面；以及即使在环状框架上存在略微的变形也能够进行吸引保持。吸盘为了应对变形而具有筒状的折皱部。
专利文献1：日本特开2013-082045号公报
但是，在将环状框架吸引保持于吸盘上且使环状框架支承于支承工作台时，由于作用于吸盘与环状框架之间的吸引力，折皱部会向内侧凹陷，即使停止环状框架的吸引保持，凹陷也不会恢复，因此成为在折皱部残留有凹陷的状态。于是，相对于其他吸盘的高度会发生改变，之后无法使环状框架浮起。
技术实现要素：
由此，本发明的目的在于提供吸引保持器具和环状框架的保持机构，在使用具有吸盘和折皱部的吸引保持器具对被保持部件进行吸引保持时，不使折皱部变形成不适当的形状。
根据本发明的一个方式，提供吸引保持器具，其对被保持部件进行吸引保持，其中，该吸引保持器具具有：吸盘；筒折皱部，其与该吸盘的下端连结；以及筒，其配设于该筒折皱部的内部，具有被定位于比该吸盘的上端靠下方的位置的上端，使该筒的下开口与吸引源连通，使被保持部件与该吸盘的上端接触，使成为密闭空间的该筒折皱部的内部为负压，从而对该被保持部件进行保持。
根据本发明的其他方式，提供环状框架的保持机构，其通过使用吸引保持器具对环状框架的下表面进行吸引而对该环状框架进行保持，其中，该环状框架的保持机构具有：工作台；该吸引保持器具，其具有吸盘、与该吸盘的下端连结的筒折皱部以及配设于该筒折皱部的内部的筒，该筒具有被定位于比该吸盘的上端靠下方的位置的上端，并且，该吸引保持器具配置于凹部，该凹部具有形成于该工作台的上表面的开口，该吸引保持器具使该环状框架与该吸盘的上端接触，从而对该环状框架进行保持；吸引路，其使该吸引保持器具与该吸引源连通；吸引阀，其配设于该吸引路；以及空气提供路，其使该吸引保持器具与空气提供源连通，在该环状框架与该吸盘的上端接触的状态下使该筒折皱部的内部成为负压，该吸盘对该环状框架进行保持，并且，在该筒折皱部的内部所施加的压力与该筒折皱部之外的大气压之间产生压力差，该筒折皱部因大气压而收缩从而被收纳于该凹部内。
在本发明的一个方式和其他方式中，在筒折皱部的内部配置有筒，因此在筒折皱部要发生凹陷时，筒折皱部被筒支承，从而能够抑制筒折皱部变形成不适当的形状。由此，能够确保所具有的多个吸盘各自的高度不变而使环状框架浮起，能够进行定位。并且，能够对所定位的环状框架进行吸引保持。
附图说明
图1是示出环状框架保持机构的整体的立体图。
图2是从侧方观察环状框架保持机构的剖视图。
图3是从侧方观察使用搬送机构将环状框架搬送至环状框架保持机构的情况的剖视图。
图4是从侧方观察在环状框架与吸盘之间形成有空气层的情况的剖视图。
图5是从侧方观察环状框架被吸引保持于吸盘上的情况的剖视图。
图6是从侧方观察下述情况下的环状框架保持机构的剖视图：配设于环状框架保持机构的吸引保持器具是吸盘和筒折皱部一体化而得的波纹管垫，筒折皱部的内部所具有的筒是具有凸肩部的结构。
标号说明
1：环状框架；1a：环状框架的上表面；1b：环状框架的下表面；10：环状框架保持机构；11：环状工作台；11a：环状工作台的上表面；11c：凹部；110b：孔；110c：内螺纹；12：保持工作台；12a：保持面；2：搬送机构；21：吸附部；22：保持部件；23：支承部；24：臂部；25：连结部件；26：搬送吸引源；27：连通路；31：第1平坦面；32：第2平坦面；33：第3平坦面；34：第4平坦面；40：吸引保持器具；41：吸盘；41a：吸盘的上端；41b：吸盘的下端；42：筒折皱部；43：筒；43a：筒的上端；43b：筒的下开口；430：凸肩部；431：外螺纹；51：第1固定定位部；51b：第1固定部件；51p：第1固定销；53：第1可动定位部；53b：第1可动部件；53p：第1可动销；53s：第1轴；55：第2固定定位部；55b：第2固定部件；55p：第2固定销；57：第2可动定位部；57b：第2可动部件；57p：第2可动销；57s：第2轴；61：吸引源；62：吸引阀；63：吸引路；64：空气提供源；65：空气阀；66：空气提供路；a：合流点；67：共通路；71：第1块；72：第2块。
具体实施方式
1环状框架保持机构的结构
如图1所示，环状框架保持机构10是对环状框架1进行保持的保持机构。环状框架1例如与未图示的晶片等一起粘贴于未图示的粘贴带，通过使环状框架1与晶片等一体化，能够提高晶片等的操作性能。
环状框架1具有：相互平行的第1平坦面31和第2平坦面32；与垂直于第1平坦面31和第2平坦面32的方向平行的第3平坦面33和第4平坦面34。这四个平坦面31～34设置于环状框架1的外周。
以下，对环状框架保持机构10进行说明。
如图1所示，环状框架保持机构10具有保持工作台12。保持工作台12的上表面成为保持晶片等的保持面12a。
环状框架保持机构10具有环状工作台11。环状工作台11围绕保持工作台12，形成有在环状工作台11的上表面11a具有开口的多个(在图1中为四个)凹部11c。
环状框架保持机构10例如具有：按照相互面对的方式配置的第1固定定位部51和第1可动定位部53；以及按照相互面对的方式配置的第2固定定位部55和第2可动定位部57。例如第1固定定位部51与第1可动定位部53相面对的方向垂直于第2固定定位部55与第2可动定位部57相面对的方向。
第1固定定位部51具有：固定于环状工作台11的第1固定部件51b；以及安装于第1固定部件51b的两个第1固定销51p。
与第1固定定位部51对置的第1可动定位部53具有：第1可动部件53b；安装于第1可动部件53b的一个第1可动销53p；以及在环状工作台11的径向上贯通第1可动部件53b的第1轴53s。第1可动部件53b能够沿着第1轴53s而在环状工作台11的径向上移动。
同样地，第2固定定位部55具有：固定于环状工作台11的第2固定部件55b；以及安装于第2固定部件55b的两个第2固定销55p。
与第2固定定位部55对置的第2可动定位部57具有：第2可动部件57b；安装于第2可动部件57b的一个第2可动销57p；以及在环状工作台11的径向上贯通第2可动部件57b的第2轴57s。第2可动部件57b能够沿着第2轴57s而在环状工作台11的径向上移动。
在第1可动定位部53中，例如在第1可动部件53b的内部配设有例如未图示的弹簧机构等。例如当从 z方向侧按压第1可动销53p时，通过该弹簧机构等，第1可动销53p向-z方向下降而收纳于第1可动部件53b的内部。另外，通过解除从 z方向侧施加至第1可动销53p的按压力，从而收纳于第1可动部件53b的内部的第1可动销53p向 z方向上升而再次在环状工作台11上突出。在图1中，未对第1可动销53p施加上述那样的按压力，第1可动销53p在环状工作台11上突出。
在第2可动定位部57中，也同样地例如通过配设于第2可动部件57b的内部的未图示的弹簧机构等，第2可动销57p能够升降移动。
在将环状框架1载置于环状工作台11的上表面11a的状态下，例如通过第1固定定位部51和第1可动定位部53夹持环状框架1的第1平坦面31和第2平坦面32，从而将环状框架1在环状工作台11的上表面11a上定位、固定。
如图2所示，在形成于环状工作台11的凹部11c的底面上形成有比凹部11c小的孔110b。
在凹部11c中配设有吸引保持器具40。
吸引保持器具40具有吸盘41。能够在吸盘41上载置环状框架1。
吸引保持器具40具有能够在z轴方向上伸缩的筒折皱部42。筒折皱部42与吸盘41的下端41b连结。
吸引保持器具40具有中空圆筒状的筒43。筒43配设于筒折皱部42的内部，筒43的下开口43b与孔110b连结。
另外，筒43的上端43a定位于比环状工作台11的上表面11a靠下方的位置。筒43的上端43a的高度位置与吸盘41的上端41a的高度位置的位置关系例如调整成：即使将环状框架1吸引保持于吸盘41上而使筒折皱部42收缩，筒43的上端43a的高度位置也不会比吸盘41的上端41a的高度位置靠上。
在保持工作台12的下方配设有：吸引源61；吸引路63，其与吸引源61连接；以及吸引阀62，其对吸引源61与吸引路63的连通状态进行切换。另外，在保持工作台12的下方配设有：空气提供源64；空气提供路66，其与空气提供源64连接；以及空气阀65，其对空气提供源64与空气提供路66的连通状态进行切换。
吸引路63和空气提供路66在合流点a合流，与共通路67连接。共通路67与孔110b连接。
例如在使吸引阀62为打开状态且使空气阀65为关闭状态时，当通过吸引源61而发挥吸引力时，所产生的吸引力通过吸引路63而传递至共通路67，进一步通过共通路67而传递至孔110b。并且，从与孔110b连结的筒43的下开口43b向筒43的内部传递，从筒43的上端43a向环状工作台11的上方传递。
另外，例如在使吸引阀62为关闭状态且使空气阀65为打开状态时，当使空气提供源64进行动作而进行空气的提供时，所提供的空气通过空气提供路66而传递至共通路67，进一步通过共通路67而传递至孔110b。并且，从与孔110b连结的筒43的下开口43b向筒43的内部传递空气，向环状工作台11的上方提供空气。
如图3所示，环状框架保持机构10例如可以代替第1固定定位部51、第1可动定位部53、第2固定定位部55以及第2可动定位部57而具有第1块71和第2块72。
第1块71与气缸机构8连接，第1块71、第2块72以及气缸机构8具有进行环状框架1的定位的功能。
例如在将环状框架1载置于环状工作台11的状态下，使用气缸机构8而使第1块71朝向环状框架1的径向( y方向)移动，从而使第1块71的侧面71c与第1平坦面31接触，使第2块72的侧面72c与第2平坦面32接触，从而能够从外侧夹持第1平坦面31和第2平坦面32。使用气缸机构8适当地调整第1块71的位置，能够进行环状工作台11上的环状框架1的定位。
另外，例如也可以在垂直于第1块71的侧面71c与第2块72的侧面72c相面对的方向的方向上配设同样地具有环状框架1的定位的功能的两个块及气缸机构等。
在环状框架保持机构10的附近配设有搬送机构2，该搬送机构2例如具有将环状框架1搬入至环状工作台11上或将环状框架1从环状工作台11上搬出的功能。搬送机构2例如具有：多个吸附部21，其对环状框架1进行吸附；保持部件22，其分别保持多个吸附部21；支承部23，其对多个保持部件22进行支承；臂部24，其与驱动源(未图示)连结；以及连结部件25，其将支承部23和臂部24连结。在吸附部21的内部形成有连通路27，连通路27与搬送吸引源26连接。
当在吸附部21的下表面与环状框架1的上表面1a接触的状态下使搬送吸引源26进行动作而由搬送吸引源26发挥吸引力时，所产生的吸引力通过连通路27而传递至吸附部21的下表面。由此，能够利用吸附部21对环状框架1进行吸引保持。
在将环状框架1吸引保持于吸附部21的状态下，未图示的移动单元等使臂部24移动，从而搬送机构2能够将环状框架1搬入至环状工作台11的上表面11a上或将环状框架1从环状工作台11的上表面11a搬出。
2环状框架保持机构的动作
对使用上述环状框架保持机构10对环状框架1进行保持时的环状框架保持机构10的动作进行说明。
首先，如图3所示，使用搬送机构2将环状框架1搬送至环状工作台11上，将环状框架1载置于环状工作台11上。在环状框架1载置于环状工作台11上的状态下，环状框架1的下表面1b与从环状工作台11的凹部11c突出的吸盘41的上端41a接触。
并且，如图4所示，将吸引阀62关闭，将空气阀65打开，并且使空气提供源64进行动作。由此，从空气提供源64提供的空气从空气提供路66传递至共通路67，并传递至孔110b。传递至孔110b的空气从与孔110b连结的筒43的下开口43b提供至筒43的内部，并提供至吸盘41的上方。
当将空气提供至吸盘41的上方时，从环状框架1的下表面1b侧向上方对环状框架1施力，并且在吸盘41的上端41a与环状框架1的下表面1b之间形成空气层a。
在空气层a形成于吸盘41的上端41a与环状框架1的下表面1b之间的状态下，例如使用气缸机构8使第1块71朝向环状框架1径向( y方向)移动。由此，第1块71的侧面71c与第1平坦面31接触。另外，使第1块71向 y方向横滑，从而使第2块72的侧面72c与第2平坦面32接触，从外侧夹持第1平坦面31和第2平坦面32。在该状态下，使用气缸机构8适当调整第1块71的位置，从而进行环状工作台11上的环状框架1的定位。
接着，使空气提供源64的动作停止而停止向吸盘41的上方提供空气。由此，此前形成在吸盘41的上端41a与环状框架1的下表面1b之间的空气层a消失，如图5所示，环状框架1的下表面1b与吸盘41的上端41a抵接。
然后，将空气阀65关闭，将吸引阀62打开，并且使吸引源61进行动作而发挥吸引力。由此，吸引源61所产生的吸引力通过吸引路63而传递至共通路67，并传递至孔110b。并且，从与孔110b连结的筒43的下开口43b传递至筒43的内部，从筒43的上端43a传递至环状框架1的下表面1b。
这样，通过在环状框架1的下表面1b与吸盘41的上端41a接触的状态下使筒折皱部42的内部成为负压，从而在筒折皱部42的内部所施加的压力与筒折皱部42的外部的大气压之间产生压力差。由此，将环状框架1吸引保持于吸盘41，并且筒折皱部42因大气压而收缩，吸盘41被收纳于凹部11c的内部。
在筒折皱部42逐渐收缩时，通过配设于筒折皱部42的内部的筒43而引导筒折皱部42，从而防止筒折皱部42在与筒折皱部42的收缩方向垂直的方向上发生变形。因此，能够确保所具有的多个吸盘41各自的高度不变而使环状框架1浮起，能够进行定位。并且，能够对所定位的环状框架1进行吸引保持。
另外，环状框架保持机构10所具有的吸引保持器具40可以如图6所示例如是吸盘41和筒折皱部42一体化的所谓的波纹管垫。
在筒折皱部42的内部配设有大致圆柱状的筒43，在筒43的侧面的下部形成有外螺纹431。在孔110b中形成有与外螺纹431对应的内螺纹110c，筒43的外螺纹431与内螺纹110c螺合，将筒43固定于孔110b。
例如在筒43的侧面上按照朝向筒43的径向伸出的方式形成有凸肩部430。
筒43的外螺纹431与内螺纹110c螺合，利用凸肩部430和凹部11c的底部夹住筒折皱部42，将筒折皱部42固定于凹部11c。另外，如上所述，当在环状框架1载置于吸盘41的状态下使用吸引源61而使筒折皱部42的内部成为负压时，将环状框架1吸引保持于吸盘41上而使筒折皱部42收缩。此时，被凸肩部430固定的筒折皱部42的内部的壁被筒的上端43a(筒43)按压，因此能够防止由于大气压而使筒折皱部42在与筒折皱部42的收缩方向垂直的方向上发生变形。
1.一种吸引保持器具，其对被保持部件进行吸引保持，其中，
该吸引保持器具具有：
吸盘；
筒折皱部，其与该吸盘的下端连结；以及
筒，其配设于该筒折皱部的内部，具有被定位于比该吸盘的上端靠下方的位置的上端，
使该筒的下开口与吸引源连通，使被保持部件与该吸盘的上端接触，使成为密闭空间的该筒折皱部的内部为负压，从而对该被保持部件进行保持。
2.一种环状框架的保持机构，其通过使用吸引保持器具对环状框架的下表面进行吸引而对该环状框架进行保持，其中，
该环状框架的保持机构具有：
工作台；
该吸引保持器具，其具有吸盘、与该吸盘的下端连结的筒折皱部以及配设于该筒折皱部的内部的筒，该筒具有被定位于比该吸盘的上端靠下方的位置的上端，并且，该吸引保持器具配置于凹部，该凹部具有形成于该工作台的上表面的开口，该吸引保持器具使该环状框架与该吸盘的上端接触，从而对该环状框架进行保持；
吸引路，其使该吸引保持器具与该吸引源连通；
吸引阀，其配设于该吸引路；以及
空气提供路，其使该吸引保持器具与空气提供源连通，
通过在该环状框架与该吸盘的上端接触的状态下使该筒折皱部的内部成为负压，该吸盘对该环状框架进行保持，并且，在该筒折皱部的内部所施加的压力与该筒折皱部之外的大气压之间产生压力差，该筒折皱部因大气压而收缩从而被收纳于该凹部内。
技术总结