本技术涉及多晶硅，具体涉及一种多晶硅再生氢系统。
背景技术：
1、多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。
2、目前，多晶硅的生产中会产生含有大量氯硅烷（包括sihcl3、sicl4、sih2cl2）的氢气，比如精馏系统中硅烷液罐的吹扫及稳压氢气。如何将氢气与氯硅烷回收并将它们进行高效分离，实现氢气与氯硅烷的回收利用，是亟待解决的问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是开发一种将氢气与氯硅烷分离，实现氢气与氯硅烷回收利用的多晶硅再生氢系统。
2、本实用新型通过如下的技术方案实现：
3、一种多晶硅再生氢系统，包括：
4、顺次连通的初冷单元、加压单元及深冷单元；
5、收集罐，与初冷单元连通；
6、废液罐，与深冷单元连通；
7、其中，所述初冷单元包括顺次连通且均与收集罐连通的一级换热器、二级换热器及三级换热器，所述一级换热器上设有进气管；所述加压单元包括与三级换热器连通的解析气压缩机；所述深冷单元包括连通的四级换热器与五级换热器，所述四级换热器及五级换热器均与废液罐连通，所述四级换热器与解析气压缩机连通，所述四级换热器上设有氢气输出管道。
8、可选的，所述一级换热器上连通有循环水上水管和循环水回水管。
9、可选的，所述二级换热器上连通有冷冻水上水管和冷冻水回水管。
10、可选的，所述加压单元包括顺次连通的压缩机吸入罐、解析气压缩机、压缩机缓冲罐及压缩机排出罐，所述三级换热器与所述压缩机吸入罐连通，所述四级换热器与所述压缩机排出罐连通。
11、可选的，所述压缩机缓冲罐与压缩机排出罐之间连通有压缩机机后冷却器，所述压缩机机后冷却器上连通有冷冻水上水管和冷冻水回水管。
12、可选的，所述压缩机排出罐与压缩机吸入罐管路连通且管路上设有气动阀。
13、可选的，所述压缩机吸入罐、压缩机缓冲罐、压缩机机后冷却器及压缩机排出罐均与所述收集罐连通。
14、可选的，所述五级换热器与四级换热器之间还连通有回气管，所述四级换热器与五级换热器之间形成气体循环。
15、可选的，所述五级换热器上连通有冷媒进管和冷媒出管，所述冷媒进管输送r22。
16、可选的，所述废液罐与三级换热器之间连通有回液管，所述三级换热器上设有输液管。
17、本实用新型的有益效果是：
18、本实用新型先经过三级冷凝，将氢气中的大部分氯硅烷冷凝，再通过解析气压缩机加压，然后经过两级深冷将混合气体中剩余的氯硅烷冷凝下来，实现氢气与氯硅烷的高效分离，使氢气与氯硅烷得到回收利用，两级深冷输出的深冷氯硅烷用作三级冷凝中的冷媒，使冷能得到利用，提高系统内部的能源利用率。
1.一种多晶硅再生氢系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述一级换热器上连通有循环水上水管和循环水回水管。
3.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述二级换热器上连通有冷冻水上水管和冷冻水回水管。
4.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述加压单元包括顺次连通的压缩机吸入罐、解析气压缩机、压缩机缓冲罐及压缩机排出罐，所述三级换热器与所述压缩机吸入罐连通，所述四级换热器与所述压缩机排出罐连通。
5.根据权利要求4所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述压缩机缓冲罐与压缩机排出罐之间连通有压缩机机后冷却器，所述压缩机机后冷却器上连通有冷冻水上水管和冷冻水回水管。
6.根据权利要求5所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述压缩机排出罐与压缩机吸入罐管路连通且管路上设有气动阀。
7.根据权利要求6所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述压缩机吸入罐、压缩机缓冲罐、压缩机机后冷却器及压缩机排出罐均与所述收集罐连通。
8.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述五级换热器与四级换热器之间还连通有回气管，所述四级换热器与五级换热器之间形成气体循环。
9.根据权利要求8所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述五级换热器上连通有冷媒进管和冷媒出管，所述冷媒进管输送r22。
10.根据权利要求9所述的多晶硅再生氢系统，其特征在于，所述废液罐与三级换热器之间连通有回液管，所述三级换热器上设有输液管。
