微焦斑测试装置及测试方法与流程

    专利2026-08-24  8


    本发明涉及微焦斑测试装置领域,特别是涉及微焦斑测试装置及测试方法。


    背景技术:

    1、目前市场上定向微焦点x射线设备的焦点尺寸可低至0.25-3μm,并可以在0-300kv内连续工作,靶功率为300w,发射功率可达350w。为了散发高能量产生的热量,管头通常采用外部水冷却或内部水冷两种。采用开放式涉及,可以打开管头更换不同的阳极靶,以满足特殊检测需求。还可以改变管头窗口,甚至移走靶,用阳极棒取代。这些管头阳极棒的直径为3~80mm,长度可达1500mm。因为阳极棒直径。但现有的x射线检测技术微焦点检测上还存在技术缺陷:精度低:检测区域远大于珍珠的大小,而分辨率和精度却达不到检测的需求;图像对比度低或过度曝光:x射线照相,普遍存在对比度过低的问题,而如果直接做对比度拉伸,则会出现图像边缘过度曝光,且微焦点精确度不够。


    技术实现思路

    1、为了克服现有技术的不足,本发明提供如下技术方案:微焦斑测试装置,包括工作台,所述工作台的顶端固定设置有直线光轴导轨,所述直线光轴导轨的一侧设置有线性导轨模组,所述线性导轨模组包括第一线性导轨模组和第二线性导轨模组,所述第一线性导轨模组顶端固定有jiam卡,所述第二线性导轨模组顶端固定有cmos探测器。

    2、作为本发明的一种优选技术方案,所述直线光轴导轨的另一侧设置有油箱,所述油箱的内部设有射线管。

    3、作为本发明的一种优选技术方案,所述射线管的两侧均设有射线管固定板,用于固定所述射线管的位置。

    4、作为本发明的一种优选技术方案,所述jiam卡和cmos探测器的底端分别设置有第一滑轮组和第二混轮组,所述直线光轴导轨的一侧设置有刻度尺,所述刻度尺用于测量jiam卡到射线管的距离并根据距离调节第一滑轮组和所述第二滑轮组的位置。

    5、微焦斑测试装置测试方法,包括如下步骤:

    6、步骤一:将所述射线管放置在油箱中,通过两侧的所述射线管固定板固定射线管的高度位置;

    7、步骤二:将jima卡和cmos探测器分别固定在所述第一线性导轨模组和所述第二线性导轨模组上,使射线管的出束口与jima卡中心位置和cmos探测器的中心位置位于同一水平面;

    8、步骤三:开启射线管,观察cmos探测器上图像的清晰度,通过移动第一线性导轨模组和第二线性导轨模组改变位置,当所述图像清晰度到达100%,通过刻度尺记录射线管到第一线性导轨模组和第二线性导轨模组的距离,从而计算出射线管的焦斑大小。

    9、与现有技术相比,本发明能达到的有益效果是:

    10、通过该装置能够快速并准确的计算出微焦点大小;有利于微焦源整机产品的焦点测试并制定测试标准;测试环境的一致性,可以很大程度上降低主观测试误差;用jima卡工具评定焦点精度,可以保证微焦源整机的一致性等的优点,同时装置操作便捷,工艺简单。



    技术特征:

    1.微焦斑测试装置,包括工作台(9),其特征在于:所述工作台(9)的顶端固定设置有直线光轴导轨(7),所述直线光轴导轨(7)的一侧设置有线性导轨模组(4),所述线性导轨模组(4)包括第一线性导轨模组(41)和第二线性导轨模组(42),所述第一线性导轨模组(41)顶端固定有jiam卡(5),所述第二线性导轨模组(42)顶端固定有cmos探测器(6)。

    2.根据权利要求1所述的微焦斑测试装置,其特征在于:所述直线光轴导轨(7)的另一侧设置有油箱(1),所述油箱(1)的内部设有射线管(2)。

    3.根据权利要求2所述的微焦斑测试装置,其特征在于:所述射线管(2)的两侧均设有射线管固定板(3),用于固定所述射线管(2)的位置。

    4.根据权利要求1所述的微焦斑测试装置,其特征在于:所述jiam卡(5)和cmos探测器(6)的底端分别设置有第一滑轮组和第二混轮组,所述直线光轴导轨(7)的一侧设置有刻度尺(8),所述刻度尺(8)用于测量jiam卡(5)到射线管(2)的距离并根据距离调节第一滑轮组和所述第二滑轮组的位置。

    5.微焦斑测试装置测试方法,其特征在于:包括如下步骤:


    技术总结
    本发明公开了微焦斑测试装置及测试方法;包括工作台,所述工作台的顶端固定设置有直线光轴导轨,所述直线光轴导轨的一侧设置有线性导轨模组,所述线性导轨模组包括第一线性导轨模组和第二线性导轨模组,所述第一线性导轨模组顶端固定有JIAM卡,所述第二线性导轨模组顶端固定有CMOS探测器通过该装置能够快速并准确的计算出微焦点大小;有利于微焦源整机产品的焦点测试并制定测试标准;测试环境的一致性,可以很大程度上降低主观测试误差;用JIMA卡工具评定焦点精度,可以保证微焦源整机的一致性等的优点,同时装置操作便捷,工艺简单。

    技术研发人员:唐天权,王炳
    受保护的技术使用者:爱克斯瑞真空技术(苏州)有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/4/29
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